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北京曉韜科技有限公司

AB-11質(zhì)量流量控制器常用解決方案,曉韜科技

2021-06-21







質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量:

以單位時(shí)間內流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業(yè)標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業(yè)標準). 標準狀態(tài)為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制;

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量;

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制;

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制;

5. 水廠(chǎng)氣質(zhì)量流量控制;

6. 生產(chǎn)半導體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測量;

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量;

8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測;

9. 空調系統控制;

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。

11. 氣體分析儀,大氣采樣器

12. 泄露監測

13. 氣體分配系統

14. 實(shí)驗室氣體測量

15. 醫學(xué)應用

16. 燃料電池

17. 應用氣體:Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。



質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現,當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,因為在MFC行業(yè)中,有一種參數叫CF,即氣體轉換系數(下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮氣)定義為標準氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà),簡(jiǎn)單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的,但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He,實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí),是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái),如果N2流過(guò)He的MFC,實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí),考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。